193 nm luftavståndsvågplatta med noll ordning, utan självhäftande lager, har stark strukturell stabilitet och anti-aging-prestanda. Kvarts motstår djup UV-korrosion, lämpar sig för kontinuerlig högeffektslaserdrift och har konsekvent polarisationskontroll.
Drag: Luftavstånd Tjocklek 0,3~1,5 mm Högt gränsvärde för skador AR-belagd och monterad | ![]() |
Artikelnummer :
WPA-193nmProduktens ursprung :
FuZhouSpecifikationer:
Material: | Kvarts |
Diametertolerans: | +0,0, -0,1 mm |
Vågfrontsdistorsion: | λ/8 @ 632,8 nm |
Retardationstolerans: | λ/50 |
Parallellism: | <1 bågsekund |
Ytkvalitet: | 20/10 |
Klar bländare: | >80 % |
Beläggning: | S1 och S2: R<0,2 % vid våglängd |
Standardvåglängd: | 193 nm |
Standardprodukter:
Halva vågplattor Art.nr. | Kvartsvågplattor Art.nr. | Diameter (mm) |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12,7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15,0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20,0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25,4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30,0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35,0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50,0 |
Tekniska fördelar med 193nm luftavståndsbaserad nollordningsvågplatta:
Den 193 nm luftgapvågplattan använder en dubbel kvartsstruktur med luftspalt, vilket kraftigt minskar materialabsorptionsförlusten och har utmärkt transmittans i djupa UV-band, som ArF-excimerlasrar. Dess luftgapdesign undviker termisk stress från bindning och håller länge vid högpresterande laserdrift. Genom att använda jonstrålebehandling uppnår den nanoskalig ytplanhet, vilket avsevärt minskar spridningsförlusten och optimerar vågfrontskvaliteten, vilket är lämpligt för högprecisionspolarisationskontroll inom litografi.